Rasterelektronenmikroskop ZEISS Supra40
mit
EDX (Bruker AXS; Quantax)
Pressemitteilung zum neuen REM
Rasterelektronenmikroskop LEO 435 vp
EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie)
Rastersondenmikroskop Dimension TM 3100 (AFM)
Diffraktometer für Reflektometrie D8 Advance
Ellipsometer Sentech SE 850
Reinraum (Beschichtung, Nasschemie, Lithographie)
DekanatChristine Huemerchristine.huemer(at)fh-kl.deIngeborg Groß (Mikrosystemtechnik)ingeborg.gross(at)fh-kl.de