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Ausstattung zur Forschung im Bereich Nanotechnologie

Rasterelektronenmikroskop ZEISS Supra40

mit

EDX (Bruker AXS; Quantax)

 


Pressemitteilung zum neuen REM

Diffraktometer

 

 

 

 

Diffraktometer für Reflektometrie D8 Advance

 

 

 

 

 

 

 

Ellipsometer Sentech SE 850

Lithografie

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Reinraum (Beschichtung, Nasschemie, Lithographie)

 

 

 

 

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